Многотомник Технология СБИС : в 2 кн. : пер. с англ. /
К. Пирс,
[и др.]; ред.
С. Зи. – Москва : Мир.
Книга32.844 Т38
1627965 ОСН
Кн.2 : . : пер. /
К. Могэб,
[и др.]. – 1986. – 453 с. : ил.
ББК 32.844.15
-- 1. Микроэлектронные схемы интегральные большие – Производство.