Электронный каталог СКУНБ им. Лермонтова

Многотомник


Моро, У.
Микролитография : принципы, методы, материалы: в 2 ч.: пер. с англ. / У. Моро. – Москва : Мир, 1990-.
Книга
32.85 М80
1851566 ОСН 1755643 ОУЧЗ

Ч.2 : . – 1990. – 614 с.
ISBN 5-03-001717-8 : 0.00.

ББК 32.85

-- 1. Микролитография.