Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Полиорганосилсесквиоксановые покрытия с совмещенными функциями резистов и тонкослойных диэлектрик...
Полиорганосилсесквиоксановые покрытия с совмещенными функциями резистов и тонкослойных диэлектрик...
Статья
Автор:
Доклады Академии наук: Полиорганосилсесквиоксановые покрытия с совмещенными функциями резистов и тонкослойных диэлектрик...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор:
Доклады Академии наук: Полиорганосилсесквиоксановые покрытия с совмещенными функциями резистов и тонкослойных диэлектрик...
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Полиорганосилсесквиоксановые покрытия с совмещенными функциями резистов и тонкослойных диэлектриков в микроэлектронных структурах / Н. А. Сенатова, [и др.] // Доклады Академии наук.– 1994.– Том 335, № 1.– С. 68-69.
-- 1. Физическая химия.
Полиорганосилсесквиоксановые покрытия с совмещенными функциями резистов и тонкослойных диэлектриков в микроэлектронных структурах / Н. А. Сенатова, [и др.] // Доклады Академии наук.– 1994.– Том 335, № 1.– С. 68-69.
-- 1. Физическая химия.