Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Оборудование ионной имплантации
Оборудование ионной имплантации
Книга
34.2 О-22
1691671 ОСН 1692723 ОУЧЗ
Оборудование ионной имплантации / В. В. Симонов, [и др.].– Москва : Радио и связь, 1988.– 183 с. : ил.
ISBN 5-256-00007-1 : 0.00.
ББК 34.208
-- 1. Ионное легирование – Установки.
34.2 О-22
1691671 ОСН 1692723 ОУЧЗ
Оборудование ионной имплантации / В. В. Симонов, [и др.].– Москва : Радио и связь, 1988.– 183 с. : ил.
ISBN 5-256-00007-1 : 0.00.
ББК 34.208
-- 1. Ионное легирование – Установки.