Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Кинетика фазово-структурных преобразований в тонких пленках SiO\x в процессе быстрого термическог...
Кинетика фазово-структурных преобразований в тонких пленках SiO\x в процессе быстрого термическог...
Статья
Автор:
Физика и техника полупроводников: Кинетика фазово-структурных преобразований в тонких пленках SiO\x в процессе быстрого термическог...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор:
Физика и техника полупроводников: Кинетика фазово-структурных преобразований в тонких пленках SiO\x в процессе быстрого термическог...
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Статья
Кинетика фазово-структурных преобразований в тонких пленках SiO\x в процессе быстрого термического отжига / В. А. Данько, [и др.] // Физика и техника полупроводников.– 2005.– Т. 39, вып. 10
В. А. Данько, И. З. Индутный, В. С. Лысенко и др. – На рус. яз.
ББК 22.37+22.251
Кинетика фазово-структурных преобразований в тонких пленках SiO\x в процессе быстрого термического отжига / В. А. Данько, [и др.] // Физика и техника полупроводников.– 2005.– Т. 39, вып. 10
В. А. Данько, И. З. Индутный, В. С. Лысенко и др. – На рус. яз.
ББК 22.37+22.251
