Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: ПРОБЛЕМЫ ЛИТОГРАФИИ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ
ПРОБЛЕМЫ ЛИТОГРАФИИ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ
Книга
Автор:
ПРОБЛЕМЫ ЛИТОГРАФИИ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ
Серия: Труды Института общей физики
Издательство: Наука, 1987 г.
ISBN отсутствует
Автор:
ПРОБЛЕМЫ ЛИТОГРАФИИ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ
Серия: Труды Института общей физики
Издательство: Наука, 1987 г.
ISBN отсутствует
Книга
32.844 П78
1647814 ОСН 1671742 ОУЧЗ
ПРОБЛЕМЫ ЛИТОГРАФИИ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ / отв. ред. Т. М. Махвиладзе.– Москва : Наука, 1987.– 149 с. : ил.– (Труды Института общей физики; т. 8) .
ББК 32.844.15
-- 1. 1. Микроэлектронные схемы интегральные - Травление - Сборники..
32.844 П78
1647814 ОСН 1671742 ОУЧЗ
ПРОБЛЕМЫ ЛИТОГРАФИИ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ / отв. ред. Т. М. Махвиладзе.– Москва : Наука, 1987.– 149 с. : ил.– (Труды Института общей физики; т. 8) .
ББК 32.844.15
-- 1. 1. Микроэлектронные схемы интегральные - Травление - Сборники..